牛津仪器集团成员
自20世纪80年代，增材制造（又称3D打印）作为一种新兴的先进成型技术开始出现。进入21世纪后，该技术逐渐成熟，开始应用在航空、汽车、医疗等领域，用于生产具有不规则曲面、深凹孔洞、细密内腔或者较大的厚薄比等特点的精密构件。
AZtec软件的AZtecAM功能，利用搭载有能谱仪（EDS）的扫描电子显微镜（SEM），为增材制造粉末的快速分析和分类提供自动化解决方案。本应用报告使用AZtecAM对气体雾化高纯度铜粉进行表征，它展示了如何快速而方便的检测和分类污染。
通过专业且模块化的AZtecAM软件，可全面表征增材制造中所使用的金属粉末多方面特性。可获得颗粒成分、形态分布及单个颗粒信息。
本文利用牛津仪器AZtecWave（EDS-WDS一体化） 系统定量表征了碳氮共渗100Cr6样品表层氮元素及碳元 素的扩散，获得N和C元素的梯度变化、扩散深度、分布 等。AZtecWave系统的使用，充分利用了EDS和WDS各 自的优势，在获得更准确N和C元素定量及分布结果的同 时，极大提高了分析效率。
本应用报告介绍了如何使用EBSD表征变形金属和合金中的位错类型和密度，从而更好地了解材料的物理特性。文中比较了两种变形Ti合金，介绍如何使用AZtecCrystal进行的高级位错分析本应用报告介绍了如何使用EBSD表征变形金属和合金中的位错类型和密度，从而更好地了解材料的物理特性。文中比较了两种变形Ti合金，介绍如何使用AZtecCrystal进行的高级位错分析并突出变形过程中不同的滑移系。
利用Symmetry S2 EBSD探测器的高速及高灵敏特性，结合AZtecCrystal的先进数据处理能力，表征两种淬火及配分（Q＆P）处理的高强度钢中的复杂物相，如铁素体、一次和二次淬火马氏体等。
本应用案例通过NordlysMax2探测器结合AZtecHKL软件对钨合金进行分析（同时采集EBSD及EDS），突出展现了该系统的快速、易用等性能。在20kV加速电压和16.6nA探针电流下，最高采集速度为870Hz，标定率>98%。
本研究介绍了弯曲铝合金6063片在原位等时加热过程中EBSD表征的微观结构变化。研究表明，弯曲区域在弯曲过程中产生织构和应变梯度，并据此发现了应变梯度驱动的回复和再结晶机制。
了解微观结构对于生产具有特定机械性能的汽车应用钢至关重要。EBSD&EDS一体化是一种强有力的微观分析手段，可用于监控材料微观结构以助于了解材料加工、微观结构和性能之间的关系。
AZtecClean是AZtecFeature功能的一种经优化过的具体应用。可根据ISO 16232和VDA19等国际标准进行技术清洁度分析。本文展示了使用AZtecClean根据上述标准分析了球轴承制造过程的清洁度。
色漆分为素色漆、金属漆和珠光漆三大类。其中金属漆外观上闪闪发光，甚至从不同角度会有色泽渐变，因此是目前流行的一种汽车烤漆。
药物常与人的一生息息相关，虽不至于时时相伴，但真的需要它时，希望它是可靠、可信赖的。正规药物从开发到临床应用程序繁杂、耗时甚长、投入巨大，因此对药物活性成分的监测以及对假药与仿冒药的来源追踪都是药厂关注的核心问题，同时也是我们作为使用者非常关心的问题。
Ultim Extreme，可以在低电压、低束流下对样品进行分析，提高空间分辨率、减小样品损伤，其硬件设计也有效提高轻元素检测的灵敏性，满足生命科学的需要。
牛津仪器Xplore及UltimMax系列能谱仪，以及医药制剂分析专用AZtecPharma系统满足制剂的严格分析要求，并搭配更多高级功能实现对医药制剂的安全及准确的分析。
传统的聚焦离子束（FIB）技术是在室温条件下从特定部位提取TEM样品。在FIB中安装冷台后，可对整个冷冻样品进行减薄和结构成像，在抛磨过程中样品要保持在反玻璃化温度以下。近些年，冷冻纳米操纵手和冷台的发展使冷冻FIB提取技术成为现实。
SEM是生命科学研究的重要工具，然而生物样品的EDS分析具有挑战性。本应用报告介绍了牛津仪器的Ultim Extreme探测器如何为生物样品提供EDS分析解决方案。
利用Symmetry EBSD深入观察贻贝外壳的结构。以前所未有的细节和速度表征了方解石和纳米结构的文石珍珠层。
使用EBSD对珍珠和软体动物外壳的珍珠层，即文石（CaCo3）薄片和生物聚合物的纳米复合材料进行表征。
多EDS系统提供的大立体角和高灵敏度，对束流敏感材料或生物样品的分析非常有吸引力。高收集效率使用户能够准确快速地分析冷冻样品，在低电压和小光斑尺寸下最大限度地提高计数率，并将电子束损伤降至最低。
三元正极材料的结构和电化学性能等特征随着过渡金属的比例变化而不同；在锂离子电池的设计和生产过程中，需要严格控制过渡金属的比例，以达到成分设计的要求。
在全球范围内，新能源汽车受到了广泛的关注，多国纷纷推出支持政策。据报道[1], 2021 年上半年，中国市场新能源汽车销量突破 100 万辆，追平 2020 年的全年销量。受新能源汽车市场的推动，新能源汽车的重要部件——锂离子电池行业发展迅猛。
显微分析技术的发展使束流敏感材料的表征成为可能。但是，这类材料EDS和EBSD分析比单纯的电子图像成像要难得多。EDS和EBSD分析需要在较大的工作距离、较高的加速电压和束流条件下进行，容易造成电子束损伤。
随着用户需求及技术水平的不断提高，电池朝着绿色环保、高储能、小型化的方向发展，锂离子电池是其中的典型代表，具有容量高、寿命长和成本低等优点，在消费电子产品、电动汽车以及储能领域有着广泛的应用。近年来，我国电动车领域发展迅猛，直接带动了锂离子电池产业快速壮大，对锂离子电池的研发热情也日益高涨。
清洁能源技术是世界各国关注的热点，主要的发达国家都在大力推动电动汽车的发展，以期取代燃油车。电动汽车的发展离不开动力电池技术的进步，正极材料是动力电池的研究重点。寻找合适的成分体系一直是产业界和学术界的重要研究课题，相关的技术沿着降钴增镍、提高容量、稳定性和循环性能的方向发展。另外，有研究表明，多晶正极材料的稳定性及循环性能不如单晶正极材料。
在全球范围内，新能源汽车受到了广泛的关注，多国纷纷推出支持政策。据报道，2021年上半年，中国市场新能源汽车销量突破100万辆，追平2020年的全年销量。受新能源汽车市场的推动，新能源汽车的重要部件——锂离子电池行业发展迅猛。
在锂离子电池中，正极材料、负极材料、隔膜、电解质和导电集流体是重要的结构组成部分，如图 1 所示。在常见的锂离子电池中，正极材料（如三元正极材料、磷酸铁锂）和负极材料（如石墨、石墨/氧化硅复合材料）分别粘附在铝箔和铜箔上，铜箔和铝箔起到承载电池活性材料及传输电子的作用。
甲基卤化铅铵是一种有机晶体化合物，用于太阳能电池、LED和光电探测器等。由于该材料对电子束非常敏感，传统CCD EBSD难以进行面分布分析。本文利用基于CMOS传感器的Symmetry EBSD对甲基铵碘化铅样品实现快速面分布分析。
太阳能电池在全球范围内的使用越来越多，提高多晶硅的产能越来越显得重要。本文介绍了如何使用电子束诱导感生电流（EBIC）对多晶硅样品进行纳米及原子尺度的分析
锆合金由于具有较低的热中子捕获截面以及良好的机械和腐蚀性能, 而被广泛应用于核反应堆。然而，由于氢化物颗粒的形成，它们会出现氢裂解(DHC)。本研究展示了EBSD在分析锆合金中氢化物的应用，如氢化物与基体的取向关系、氢化物的产生与内部结构和局部取向差的关系等。
太阳能转换效率是确保未来电力供应稳定且充足的长期战略之一。光电转换是将阳光直接转化为电能的唯一方法。本文利用EBSD揭示了光吸收材料晶体结构与转换效率之间的关系。
锂离子电池材料是当前研究的热点，主要目的是提高电池存储容量和寿命。SEM是研究这些材料的重要工具，由于Li特征X射线能量低，Li元素分布的表征是主要挑战之一。
光伏电池是生产低碳可再生能源的一个有吸引力的选择，但传统的设计往往包含不利的有毒化合物，因此必须在特殊条件下生产。因此，新型氧化物光伏电池备受关注……
薄膜太阳能电池的研究和开发过程中，一个重要环节是表征功能层的微观结构和成分性质。
扫描电子显微镜（SEM）大面积能谱仪（EDS）相结合，分析了土耳其库巴德宫各种陶器釉料的化学成分 。研究发现，宫殿中的不同房间都有各自特点，即不同的瓷砖制造商使用了不同的风格和技术制造这些陶器。
SEM具有高分辨率，且可通过EDS进行化学分析，因此常用于分析石棉。然而因为TEM具有理想的图像和光谱分辨率，纤维的衍射斑点也可用于鉴别其中所含矿物种类，故TEM更是石棉分析的理想方法。
能谱仪(EDS)在扫描电镜(SEM)中的自动石棉分析是一项功能强大的技术，可迅速识别可疑石棉纤维的数量、成分和形态。本应用实例讨论了如何使用AZtecFeature来执行这些具有挑战性的样品的分析。
本应用实例讨论了如何使用AZtecGSR分析枪击残留物（枪击残留物分析为AZtecFeature 颗粒物分析系统的一个专门应用）。
本文使用牛津仪器EDS技术的多个功能鉴定判断陨石真伪：通过大面积拼接观察厘米级样品切面的全貌，识别其中球粒的分布；无标样定量分析准确鉴定陨石的特异性矿物；使用AutoPhaseMap功能获得球粒中各矿物相的准确比例。
4号元素铍 (Be) 是一种稀有轻金属和战略性关键元素，可用作 X 射线管窗体、中子源、中子减速剂材料，也可作为合金元素添加到其他金属中赋予材料优异的物理性能，在原子能、火箭、导弹、航空、宇宙航行以及冶金工业等领域不可缺少。
探索地外天体乃至宇宙的形成过程一直是人类的追求。这个话题似乎很遥远，对于普罗大众而言，最容易接触到的地外天体就是夜空中划过天际、坠落地面的陨石。陨石携带了大量的外太空信息，为人类研究宇宙提供了难得的样本，是地外天体研究人员关注的对象。
长期以来，在地质样品的观察和研究中，区分相似物质非常重要。形成时的条件导致某些矿物相的晶体结构非常相似，只是化学成分有所不同。对于这类样品，传统的EBSD在采集的时候，所得到的EBSD衍射花样几乎毫无二致，根本无法准确区分相似相结构。牛津仪器EBSD的TruPhase标定模式则在这方面做了重大改进，能做到有效区分相似的晶体结构。
本应用报告介绍了如何获得地质样品中毫米和微米尺度结构之间的关系，以帮助您了解岩石及其来源地区的地质历史。
本文介绍如何区分岩石样品中在电子图像下具有相似形貌的矿物。
最近，我们有幸分析了2021年2月坠落在Gloucestershire小镇的温科姆陨石。本应用报告展示了一些初步的EDS结果，突出了这颗陨石宏伟的微观结构。
EBSD和EDS联用测定岩石变质史
AztecFeature的FeaturePhase可自动分析复杂地质样品，即背散射下无明显衬度差异(平均原子量接近)但成分不同。
地质材料切割剖面的表征可能是一个费力、耗时的过程，且含有主观因素。与大面积X-MaxNSDDs结合使用的 AZtecFeature 可以实现这一过程的自动化，从而能够快速、准确地对复杂的矿物进行表征。
本应用实例探讨了如何使用AutoPhaseMap技术来确定和表征火成岩中的相组成，并将其结果与EBSD/EDS一体化标定的结果进行比对进行验证。
本应用笔记展示了在未知相组成的前提下，如何使用AutoPhaseMap发现遗漏的次生相。
本应用实例探讨了AutoPhaseMap如何用于确定火成岩中不同矿物的百分比，并根据该结果对其类型进行分类。
利用EBSD和EDS对一个含有多达10个相的榴辉岩样品进行快速分析。即使在250 pps的速度下，Symmetry 仍可提供高花样分辨率和良好的标定率。
使用Symmetry可在几分钟内以近1000 pps的数据收集速率对一个相对简单的地质样品（石英糜棱岩）进行表征。
用Symmetry深入观察贻贝壳的结构，快速得到方解石和纳米文石层的细节。
对尺寸极大、物体尺寸从微米尺度到纳米尺度分布的样品进行详细的表面分析, 在分析时间有限的情况下挑战性很高。通过常规分析, 在相对较低的像素密度下获取低放大倍率下的元素图，可能会曲解其化学和结构组成。
在本文中，笔者使用EBSD采集到的变形石英岩的晶粒尺寸形状信息与其SPO及XZ剖面的应变进行了关联，结果证明这种试验方法的有效性及可靠性。
对尺寸极大、物体尺寸从微米尺度到纳米尺度分布的样品进行详细的表面分析, 在分析时间有限的情况下挑战性很高。通过常规分析, 在相对较低的像素密度下获取低放大倍率下的元素图，可能会曲解其化学和结构组成。
综 述 钢铁及合金材料显微分析的全方位解决方案
相变诱导塑性(TRIP效应)，是指亚稳态奥氏体向马氏体转变导致的高强度及良好塑性的现象。
稀土元素号称工业的味精，只需少量添加就可以大幅改变金属材料的性能。我国是稀土大国，同样也是钢铁大国，如能结合二者，有可能获得更高性能的钢材。
本文采用牛津仪器（Oxford Instruments）能谱仪（EDS）、电子背散射衍射仪EBSD）及 WITec 共聚焦拉曼光谱仪（Raman）对某高碳钢盘条表面氧化皮结构进行分析。利用 EDS 及 EBSD 获得表层氧化皮组成、厚度、晶粒、取向等信息，而拉曼光谱仪即便在样品制备不佳的条件下也可以获得物相组成及结构等信息。
EBSD是一种理想的测定晶粒尺寸的方法，在此就其在钢丝上的应用作一介绍。
本应用实例介绍了Aztec高精度模式在解决gamma-TiAl 赝对称问题中的应用。
在利用SEM-EDS进行钢中碳含量检测时，常常会发现含量偏高，这主要是碳污染造成的。在进行EDS分析时，随着束流的增加，分析时间的延长，碳污染会越发严重，所得碳的定量结果也会随之升高。
钢中碳的微区定量表征通常可通过波谱仪(WDS)或电子探针(EPMA)实现。然而，由于碳污染的存在，即使在低电压下，利用WDS/EPMA难以实现亚微米尺度碳的定量分析。本文利用牛津仪器大面积能谱仪Ultim Max 170在5kV低电压下成功定量表征了碳在热成型钢/铝硅镀层界面处的富集，这有助于了解热成型钢/铝硅镀层界面碳富集的起源及铁素体转变过程中碳元素的分配。
本文介绍了牛津仪器 CMOS EBSD探测器的新型荧光屏，该荧光屏使用光学干涉滤波片可在高温EBSD实验中阻挡红外信号。该新技术能够更快、更灵敏地在高温下原位分析微观结构变化。
本文介绍了如何使用AZtecCrystal的母相重构功能，利用室温EBSD结果重建母相组织。同时，使用新型高温荧光屏，在高于900°C下收集的β-Ti的原位EBSD结果来测试钛样品的重建效果。结果表明，实测和重建的β-Ti微观结构之间非常一致。
本文展示了如何利用专业夹杂物分析软件AZtecSteel，依据不同国际标准分析钢中非金属夹杂物。
文中使用SEM-EDS及专用夹杂物分析软件AZtecSteel对5种钢进行完整的表征。
牛津仪器EDS软件中的AutoPhaseMap模块可以从x射线成像数据中自动找到不同特征组成的区域，并确定这些区域或相的分布、面积、组成元素和成分。本应用实例考察了如何用它来表征铝合金及其金属间相。
本应用笔记探讨了AutoPhaseMap如何用于研究150-1000nm镍基合金中纳米级金属间化合物的化学性质和分布。
Symmetry S2 EBSD探测器可实现高至4500点/秒标定速度，文中几分钟内便分析了经变形及热处理的镍板，提供了表征微观组织的大量数据。
晶粒度是材料的重要参数，它会强烈影响材料的力学和物理性能。了解材料加工对晶粒度的影响，有助于设计性能最佳的材料。
本技术说明介绍了AZtecSteel 对钢铁夹杂物进行分类的方法, 包括数据处理和报告。
显微分析是了解许多材料潜在失效机制和服役时长的有力工具。本文利用EBSD和EDS研究了镍高温合金蠕变后的组织和显微裂纹分布。
结合电子背散射衍射（EBSD）和能谱（EDS）技术对地质样品进行表征，利用TruPhase功能实现晶体结构相似相的区分。
这个应用实例介绍了一种将牛津仪器的OmniProbe与AZtec EBSD 系统结合起来，用于操作和分析直径为5μm的金微电子线样品的方法。
以等原子比AlCoCrCuFeNi合金为基础制造的一种高熵合金，由于其良好的耐腐蚀、抗氧化和热稳定性能，可广泛应用于各种高温场合，如炉体零件、工具、模具等。
本文介绍了利用离子束研磨技术，从铝、锆、镁、钛合金和锌镀层等试样中获得更优质的EBSD数据，而这些通常难以通过单纯机械途径进行制备。
奥氏体、铁素体、马氏体和贝氏体是不同合金中常见的相，这些相的相对比例会影响钢在不同状态下的性能。马氏体、贝氏体和铁素体的区分是一个比较大的挑战，因为这三种相的晶体结构本质上是相同的。
本技术说明介绍了牛津仪器AZtecSynergy显微分析系统使用 Tru-I®引擎执行相鉴定的能力。
本应用实例介绍了TKD在纳米结构镍试样和大变形不锈钢上的应用，这都是传统EBSD无法表征的。
制备良好的氧化铝绝缘体中可以收集到高质量的EBSD数据，这些数据为材料的微观结构提供了有价值的信息——特别是晶粒尺寸和分布、织构和孔隙度等。
使用X-Max® Extreme可以分析10nm的析出相元素差异。
本应用实例讨论了样品厚度和密度对TKD结果的影响。
在本研究中，我们将使用一次采集所获取的元素面分布信息，研究AutoPhaseMap如何应用于钢渣样品中100nm到100mm尺度上的相研究。
Symmetry探测器非常适合用于金属样品的常规EBSD表征，速度可达3000点/秒。以下是用Symmetry表征镍高温合金和大面积焊接双相钢的案例。
使用EBSD表征马氏体结构通常颇具挑战性。在此，Symmetry所具有的高灵敏度可以对马氏体不锈钢进行优异的细节表征。
本研究采用EBSD/EDS分析相结合的方法对1.8715钢进行分析，旨在识别铁素体基体中的马氏体和残余奥氏体区域。
EBSD是一种理想的晶粒尺寸测定技术，它提供了晶粒尺寸、晶界特征和织构量化等微观结构特征。以下是用AZtecHKL检测镀锌钢丝的结果。
自1947年巴丁和布拉顿在贝尔实验室发明了锗点接触晶体管以来，半导体已经深深融入人们的日常生活，从手机、汽车到大数据、物联网无一不依赖于半导体器件。存储芯片是半导体产业的重要分支，约占全球半导体市场的三分之一。根据IC Insights在2021年4月份的《麦克莱恩报告——集成电路行业的全面分析和预测》显示，在经历了2019年的大幅下跌后，内存集成电路的销售额在疫情困扰下的2020年反弹了15%，且预计会在2022和2023持续增长[1]。
海雾是大气气溶胶中的一种，它们通过选择性地吸收太阳辐射，参与云团的成核，进而影响全球的气候和环境。为了更好地理解气溶胶对环境气候的影响机制，科学家需要有合适的工具，对单个气溶胶颗粒进行亚微米级别的表征。尤其重要的一点是，科学家需要知道，这些气溶胶是以什么状态存在的，气态、液态、亦或是固态？
背散射电子衍射技术（简称为EBSD）自商业化以来就被应用于各领域中对材料进行全方位的显微组织分 析。在对电子电路的检测中，EBSD也被经常应用于诸如互联、焊料和镀膜等关键部件的精细结构研究。
自硅基半导体作为一个规模庞大的产业发展起来后，集成电路单位面积上晶体管的数量增加趋势始终遵循摩尔定律。目前，硅基半导体中的关键尺寸（线宽或特征尺寸）已经降低到到 10nm 以下。相比于硅基半导体，化合物半导体如 SiC 和 GaN 基半导体可以满足更苛刻的工作条件（高击穿电场、高热导率、高电子迁移率、高工作温度等），具有更大的输出功率和更好的频率特性，市场需求方兴未艾。
EDS和EELS的同时采集是材料分析的强大工具。
半导体器件的开发和测试需要对局部结构和元素组成有深入的了解。由于特征尺寸小于5nm，通常需要在S/TEM中进行成像和EDS分析。
金属化层将半导体器件中的不同部件连接在一起，并直接影响其性能。金属层中缺陷的出现将直接影响器件性能。因此，找到缺陷的原因并其追溯到制造过程至关重要。
本文介绍了如何检查GaN纳米管阵列上方的金属有机气相外延（MOVPE）过度生长。介绍了如何使用Ultim Extreme能谱探测器快速无损地分析含有高密度纳米柱的GaN样品。
文中介绍了使用牛津仪器Ultim Extreme探测器，从缺陷和清洁度方面检查光掩模质量，其中包括无法使用光学方法识别的缺陷。
本应用说明说明了利用Ultim Extreme无窗能谱仪如何对SRAM器件进行表征。
本文介绍了使用Symmetry S2探测器和AZtecCrystal数据处理软件的几个简短示例，用于有效表征一系列微电子样品中的微观结构。
本文介绍了一种将牛津仪器的纳米机械手和 AZtec EBSD系统结合起来, 用于操作和分析直径为5μm 的金微电子线样品的方法。
本应用报告展示了一种基于SEM-EDS的解决方案，可用于分析PCB故障及表征PCB样品上的污染。
X-Max Extreme为研究小于10nm的纳米结构的形貌和化学性质提供了一种独特便捷、功能强大的成像分析工具。以铈铁纳米粒子和GaInAs量子点为例，验证了该方法的可行性。
本文介绍了一种测量TEM片层局部厚度和成分的新技术，并讨论了该技术在半导体器件失效分析中的应用。
LayerProbe使分析人员能够分离基体和其上每层镀膜对信号的影响，并能够在高分辨率和无损的方式下测量厚度和组成。
随着半导体器件不断缩小尺寸以提高性能并利用先进的制造技术，有必要以越来越高的分辨率分析它们的结构和化学性质。
在电镜微区分析中，EDS是使用频率较高的定量分析技术，牛津仪器EDS的软件AZtec中内置虚拟标样数据库，可以非常方便地得到成分信息。无论是无标样、归一化分析还是无标样、非归一化分析，牛津仪器的EDS定量分析都达到非常高的准确性。
X 射线定量分析技术，包括能谱仪（EDS）和波谱仪（WDS），是微区分析中可靠性、准确性高的无损定量方法。牛津仪器的能谱仪（EDS）提供多种定量方法：无标样归一法、无标样非归一法和有标样定量法。
牛津仪器能谱仪（EDS）系统无标样定量分析已经达到了很高的准确性。采用不同的基体校正方法对1400个合金样品和750个轻元素样品定量分析显示，无论是重元素还是轻元素，XPP基体校正方法得到的含量相对偏差均显著低于ZAF和Phi-Rho-Z方法
X射线分析技术，包括能谱仪（EDS）和波谱仪（WDS），是微区分析中最快速、最准确的无损定量技术。目前，国内的扫描电子显 微镜上大多会配置EDS，方便用户同时采集微区的电子图像和成分信息，可以说EDS是电镜上使用频率最高的定量分析技术。
如何选择电镜成像条件是我们进行EBSD分析时经常要询问的问题之一。加速电压和束流决定了EBSD的空间分辨能力，放大倍数的设置与具体分析目的紧密相关。研究织构时，常常在低倍率下以高速模式采集数据，从而保证结果的统计性；对于晶粒度分析，视场宽度和采集步长由样品的组织特征决定。
利用扫描电镜（SEM）中的能谱仪（EDS），可以实现块状样品的显微成分定量分析。利用牛津仪器EDS的Tru-Q定量技术，可以确保在不同电压下实现准确的有标样及无标样定量分析。在透射电镜（TEM）中，分析对象为薄样品，通常利用Cliff-Lorimer因子（K因子）法进行元素定量分析。
来自超高速撞击构造的粒状锆石可以用来估计撞击过程的压力和温度等热力学条件，还可以通过U-Pb年代学来估计撞击事件的时间。新生粒状锆石的形成有两种模型：一种涉及锆石—莱氏石固态相变，另一种涉及锆石的熔解和析出。
消费电子、太阳能电池及精密光学等领域使用了大量薄膜及涂层材料以实现不同功能。此类材料的性能与其厚度及化学成分设计密不可分，因此，可靠高效的薄膜表征手段是其研发、质量监控及失效分析不可缺少的一环。
扫描电镜自1965年商业化以来，被广泛应用于表征材料的组织形貌，配备了能谱仪（EDS）和电子背散射衍射系统（EBSD）的SEM可以在微区进行元素成分分析和晶体结构、晶粒取向以及晶粒大小等的研究。
本文更深入介绍了一种潜在的方法，即使用高电压对纳米结构进行定量分析。所用样品为薄试样，即SEM-STEM或30kV STEM。
在扫描电子显微镜（SEM）中定位样品上感兴趣的区域/特征有时比较困难。在处理大样品或者多样品是，了解感兴趣区域的位置可能特别具有挑战性。本文展示了一种使用导入图像的解决方案，及Image Registration功能。
随着牛津仪器2017年发布采集速度达到3000点/秒的Symmetry S2 EBSD探测器以来，基于CMOS技术的EBSD逐渐成为市场的主流。CMOS传感器相比CCD传感器有两大特点：一是信号采集速度快，因为CMOS信号是并行输出的，而CCD信号是串行输出的；二是CMOS的灵敏度比CCD高，因为信号输出的时间减少了，就可以腾出更多时间用于曝光采集信号。
大面积拼接（LAM）是AZtec的一项高级功能，它可以在多个相邻视场上采集数据（图像或面分布图）并拼接，从而实现了大面积数据采集。通过这种方式，获得高空间分辨率数据的同时，通过结合电子束扫描和样品台移动，提供低倍的全局概览。对于平面样品的EDS分析，该功能在EDS分析推荐的工作距离下易于操作。
初识距离取向差函数（Distance Disorientation Function, DDF），是最近AZtecCrystal发布第二个版本时新增加的一项功能。通过DDF分析，AZtecCrystal可以很容易获得原奥氏体晶粒大小（图一），而无需输入取向关系和变体信息。
在材料研究领域，温度一直是研究人员考虑的重要变量。随着显微分析设备的进步，目前的技术水平已经实现了电子显微镜内样品的高温原位分析，最高工作温度甚至可以超过1000 ºC。相较于室温分析，高温实验的最大挑战在于红外辐射的干扰。
基于CMOS的EBSD探测器能够更快、更灵敏地分析样品。灵敏度与全系统效率或探测量子效率（DQE）有关。
基于CMOS的EBSD检测器能够更快、更灵敏地分析样本。
本文向新用户解释了如何利用当前流行的编程语言之一Python从H5OINA文件中提取数据。
基于电子显微镜平台的能谱 (EDS) 分析是目前非常普遍的微束分析手段之一，牛津仪器Ultim Max系列能谱仪拥有Tru-QTM引擎，可提供准确的微区成分定性及定量分析。
© 牛津仪器 2024
公安机关备案号31010402003473