WDS(波长色散谱仪)通过提供优质的峰剥离、准确的痕量元素分析和针对低能量和高能量x射线的优化的元素检测来完善EDS。

"SEM（扫描电镜）上的微束探针精度"

综述

• 低于500ppm的准确的定量分析；
• 优于10eV的能量分辨率可用于区分严重的谱峰重叠，如S和Mo；
• 即使在峰重叠的情况下,也可以轻松、准确的确定样品中所有元素的分布；
• 对痕量元素检测的灵敏度是EDS系统的100倍；
• SEM中准确的元素分析，使用WD对痕量元素进行分析，使用ED中的XPP定量校正算法对主要元素进行分析，其精度可以与EPMA的精度相媲美。

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