OmniProbe - Effortless nanoscale manipulation - Nanoanalysis

OmniProbe

Effortless Nanoscale Manipulation

用于FIB和SEM的OmniProbe纳米操纵手自1995年以来客户口碑较好，市场占有率较高，多种型号可满足不同的预算和应用。

OmniProbe 使您能够快速、自信地工作，并且不存在样品丢失的风险，简化高级工作流程并提供高产量的提取。我们的第9代纳米机械手是为FIB-SEM中的TEM薄片制备而设计和优化的，由压电马达和闭环控制提供动力，以获得可靠、可重复的性能。

精确的纳米级控制，使探针按照您期望的位置和方式移动
使用探针旋转，提供几乎任何可以想象的样品几何
采用端口安装设计，将与其他探测器和附件的干扰降至更低
低温针尖允许制备低温TEM薄片

作为我们的第九代探针，OmniProbe 400和350延续了作为FIB和SEM可用的高性能操纵器的悠久传统。采用紧凑的端口安装式设计和亚纳米压电马达，这一代探针提供了稳定的平台，具有低振动、低漂移和卓越的定位精度。我们用户界面非常直观，运动方向是按图像校准的。

结果是出色的提取和纳米操纵解决方案：

快速、自信、无样品丢失风险地完成传统薄片提取

卓越的线性度、平滑的连续运动和直观的界面提供更高的功率

使用探针旋转来执行困难几何结构的快速工作流
- 加速背面剪薄
- 不放气平视角提取
在低温样品上进行提取，就像在室温下一样容易
提取样品用于3D断层扫描或原子探针断层扫描
在扫描电镜中制作相关的TEM和原子探针纳米线样品
改善未镀导电层绝缘试样的扫描电镜成像

使用探针尖来中和样品表面积聚的电荷

为改进的SEM-EDS和EBSD（TKD）分析制备样品
测量纳米结构的电参数

优越的线性度 - 线性度是测量探针针尖偏离要求的运动方向的一种方法。在所有方向上沿直线移动的探针可以

安全地取出，而不会撞到沟槽边
使用较小的沟槽更快地生产TEM薄片

直观的用户界面- 控制探针的移动直接反映在电子图像中

平滑连续运动——薄片制备工作流程要求探针进行物理接触，平滑运动确保这一过程没有样品掉落或损坏的风险

精确移动可存储位置

点击一下，即可从完全缩回位置移动到操作位置
保存用户定义的工作位置

360°计算中心旋转使探针针尖保持在显微镜视野内

结合探针旋转和显微镜样品台移动，提供几乎任何你能想象到的几何结构
通过旋转探针来加快工作流程，而不是样品仓放气然后处理样品
通过修复FIB延长探针针尖寿命

原位更换探针针尖 - 可快速更换探针尖，且无需放气，减少了大气污染

稳定的探针平台 -

稳定是为了防止振动和漂移。将样品焊接到探针针尖是通过气体沉积过程完成的，该过程可能需要几分钟。在此过程中，针尖的任何漂移或振动都可能导致试样内部产生应力，或试样在切割时突然移动

稳定的Omniprobe平台使闲置时的振动和漂移降至最低，降低了这些风险

端口安装式设计 在不使用时完全缩回腔室，因此不会影响您的显微镜

不限样品大小
不限制样品台倾斜
不干扰其他探测器或附件

低温针尖用于生物、电池等样品。使用相同的工作流程提取低温样品，就像在常温下一样容易

探头电气连接包括用于电压衬度成像的+/-10V电源

低噪音选项可与第三方电子设备结合，以执行EBIC、EBAC和其他电气测试方法

使用下面比较表帮助您为应用选择最佳的OmniProbe并比较指标。


SPECIFICATION	OMNIPROBE
	Cryo	OmniProbe 350	OmniProbe 400
Linearity	500 nm	500 nm	250 nm
Encoder resolution	100 nm	<50 nm	10 nm
Insertion repeatability	5 μm	5 μm	2 μm
Min velocity	100 nm/s	50 nm/s	10 nm/s
Max Velocity	250 μm/s	250 μm/s	500 μm/s
Compucentric rotation	✘	✘	✔
APPLICATION
Site specific lift-out	✔	✔	✔
Plan-view	P	P	✔
Vent free plan-view	✘	✘	✔
Backside Thinning	✘	✘	P
Atom Probe tomography sample preparation	P	P	✔
Cryogenic liftout	✔	✘	✘
Voltage contrast imaging	✔*	✔	✔
Charge neutralisation	✔	✔	✔
On-Tip analysis	✘	✘	✔
EBIC measurements	✘	O	O
EBAC measurements	✘	O	O
In Situ tip change	✘	O	✔

P: 需要OmniPivot样品台 O: 选配项 * 当连接低温时不行

OmniProbe 配件

OmniProbe产品

提取TEM原位加热芯片

高级提取

GIS测试图案

利用我们的Extreme EDS分析背面减薄样品

Extreme EDS分析TEM薄片样品

通过OmniProbe 400测量EBAC和EBIC信号

OmniProbe电性能测试

在冷冻FIB中制备酵母细胞的TEM样品

冷冻提取

应用

提取

OmniProbe的主要应用是为TEM在特定位置提取薄片样品。提取的挑战是从沟槽中取出样品（薄片），任何意外的移动都可能导致样品丢失。更精确的移动允许更小的特征成为目标，并且对于更大的样品需要更少的磨削。

高级提取：旋转

OmniProbe 400增加了360°旋转，意味着可以制备额外取向的样品，从而提供更薄、质量更高的样品。计算中心旋转意味着样品在旋转时保持在电子图像的中心

高级提取：工作流程

结合探针样品台（CSP）配方可以将高级提取在常规的3个步骤中完成，以最佳的几何结构制备薄片。

使用样品台移动定位样品
执行提取样品
旋转OmniProbe并将样品焊到TEM载网上

运动的线性对这些配方至关重要，因为挖的沟槽可能会被遮挡在视线之外，这就要求在提升过程中对纳米机械手有绝对的信心。

低温提取

OmniProbe低温针尖和工作流程意味着低温TEM薄片可以使用与标准薄片相同的工作流程制备。冷冻针尖可以被动冷却到水的玻璃化点以下，确保无损伤的提升。

原位换针尖

在提取过程中，探针针尖上沉积材料并将其磨掉，因此随着时间的推移探针针尖将被消耗掉。OmniProbe 400的计算中心旋转允许通过使用离子束重塑针尖来延长针尖寿命，但即使如此，它最终仍需要更换。OmniProbe具有独特的能力，可以在几分钟内更换探针针尖，而不会破坏显微镜的真空，通过最小化停机时间来最大限度地提高效率。

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用于FIB和SEM的OmniProbe纳米操纵手自1995年以来客户口碑较好，市场占有率较高，多种型号可满足不同的预算和应用。

博客：OmniProbe技术提示：3步优化FIB薄片质量

博客：OmniProbe 提示和技巧

应用笔记：高质量TEM薄片制备及利用LayerProbe和OmniProbe 400做针尖上的原位分析

应用笔记：位错和晶界的多尺度分析，以改善多晶硅太阳能电池的性能

应用笔记：利用OmniProbe 400用背面减薄制备高性能且无人为影响的TEM薄片

海报：一种原位FIB提取低温样品的普适方法

海报：优化FIB提取和分析