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OmniProbe
Effortless Nanoscale Manipulation

用于FIB和SEM的OmniProbe纳米操纵手自1995年以来客户口碑较好,市场占有率较高,多种型号可满足不同的预算和应用。

OmniProbe 使您能够快速、自信地工作,并且不存在样品丢失的风险,简化高级工作流程并提供高产量的提取。我们的第9代纳米机械手是为FIB-SEM中的TEM薄片制备而设计和优化的,由压电马达和闭环控制提供动力,以获得可靠、可重复的性能。

  • 精确的纳米级控制,使探针按照您期望的位置和方式移动
  • 使用探针旋转,提供几乎任何可以想象的样品几何
  • 采用端口安装设计,将与其他探测器和附件的干扰降至更低
  • 低温针尖允许制备低温TEM薄片

作为我们的第九代探针,OmniProbe 400和350延续了作为FIB和SEM可用的高性能操纵器的悠久传统。采用紧凑的端口安装式设计和亚纳米压电马达,这一代探针提供了稳定的平台,具有低振动、低漂移和卓越的定位精度。我们用户界面非常直观,运动方向是按图像校准的。

结果是出色的提取和纳米操纵解决方案:

  • 快速、自信、无样品丢失风险地完成传统薄片提取
    • 卓越的线性度、平滑的连续运动和直观的界面提供更高的功率
  • 使用探针旋转来执行困难几何结构的快速工作流
    • 加速背面剪薄
    • 不放气平视角提取
  • 在低温样品上进行提取,就像在室温下一样容易
  • 提取样品用于3D断层扫描或原子探针断层扫描
  • 在扫描电镜中制作相关的TEM和原子探针纳米线样品
  • 改善未镀导电层绝缘试样的扫描电镜成像
    • 使用探针尖来中和样品表面积聚的电荷
  • 为改进的SEM-EDS和EBSD(TKD)分析制备样品
  • 测量纳米结构的电参数

优越的线性度 - 线性度是测量探针针尖偏离要求的运动方向的一种方法。在所有方向上沿直线移动的探针可以

  • 安全地取出,而不会撞到沟槽边
  • 使用较小的沟槽更快地生产TEM薄片

直观的用户界面- 控制探针的移动直接反映在电子图像中

平滑连续运动——薄片制备工作流程要求探针进行物理接触,平滑运动确保这一过程没有样品掉落或损坏的风险

精确移动可存储位置

  • 点击一下,即可从完全缩回位置移动到操作位置
  • 保存用户定义的工作位置

360°计算中心旋转使探针针尖保持在显微镜视野内

  • 结合探针旋转和显微镜样品台移动,提供几乎任何你能想象到的几何结构
  • 通过旋转探针来加快工作流程,而不是样品仓放气然后处理样品
  • 通过修复FIB延长探针针尖寿命

原位更换探针针尖 - 可快速更换探针尖,且无需放气,减少了大气污染

稳定的探针平台 -

稳定是为了防止振动和漂移。将样品焊接到探针针尖是通过气体沉积过程完成的,该过程可能需要几分钟。在此过程中,针尖的任何漂移或振动都可能导致试样内部产生应力,或试样在切割时突然移动

  • 稳定的Omniprobe平台使闲置时的振动和漂移降至最低,降低了这些风险

端口安装式设计 在不使用时完全缩回腔室,因此不会影响您的显微镜

  • 不限样品大小
  • 不限制样品台倾斜
  • 不干扰其他探测器或附件

低温针尖用于生物、电池等样品。使用相同的工作流程提取低温样品,就像在常温下一样容易

探头电气连接包括用于电压衬度成像的+/-10V电源

  • 低噪音选项可与第三方电子设备结合,以执行EBIC、EBAC和其他电气测试方法

使用下面比较表帮助您为应用选择最佳的OmniProbe并比较指标。

SPECIFICATION                                                    OMNIPROBE
Cryo OmniProbe 350 OmniProbe 400
Linearity 500 nm 500 nm 250 nm
Encoder resolution 100 nm <50 nm 10 nm
Insertion repeatability 5 μm 5 μm 2 μm
Min velocity 100 nm/s 50 nm/s 10 nm/s
Max Velocity 250 μm/s 250 μm/s 500 μm/s
Compucentric rotation
APPLICATION
Site specific lift-out
Plan-view P P
Vent free plan-view
Backside Thinning P
Atom Probe tomography sample preparation P P
Cryogenic liftout
Voltage contrast imaging ✔*
Charge neutralisation
On-Tip analysis
EBIC measurements O O
EBAC measurements O O
In Situ tip change O

P: 需要OmniPivot样品台 O: 选配项 * 当连接低温时不行

 

OmniProbe 配件

 

 

OmniProbe产品

提取TEM原位加热芯片

高级提取

GIS测试图案

利用我们的Extreme EDS分析背面减薄样品

Extreme EDS分析TEM薄片样品

通过OmniProbe 400测量EBAC和EBIC信号

OmniProbe电性能测试

在冷冻FIB中制备酵母细胞的TEM样品

冷冻提取

应用

提取

OmniProbe的主要应用是为TEM在特定位置提取薄片样品。提取的挑战是从沟槽中取出样品(薄片),任何意外的移动都可能导致样品丢失。更精确的移动允许更小的特征成为目标,并且对于更大的样品需要更少的磨削。

高级提取:旋转

OmniProbe 400增加了360°旋转,意味着可以制备额外取向的样品,从而提供更薄、质量更高的样品。计算中心旋转意味着样品在旋转时保持在电子图像的中心

高级提取:工作流程

结合探针样品台(CSP)配方可以将高级提取在常规的3个步骤中完成,以最佳的几何结构制备薄片。

  • 使用样品台移动定位样品
  • 执行提取样品
  • 旋转OmniProbe并将样品焊到TEM载网上

运动的线性对这些配方至关重要,因为挖的沟槽可能会被遮挡在视线之外,这就要求在提升过程中对纳米机械手有绝对的信心。

低温提取

OmniProbe低温针尖和专利的工作流程意味着低温TEM薄片可以使用与标准薄片相同的工作流程制备。冷冻针尖可以被动冷却到水的玻璃化点以下,确保无损伤的提升。

 

 

原位换针尖

在提取过程中,探针针尖上沉积材料并将其磨掉,因此随着时间的推移探针针尖将被消耗掉。OmniProbe 400的计算中心旋转允许通过使用离子束重塑针尖来延长针尖寿命,但即使如此,它最终仍需要更换。OmniProbe具有独特的能力,可以在几分钟内更换探针针尖,而不会破坏显微镜的真空,通过最小化停机时间来最大限度地提高效率。

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