产品
FIB-SEM
Nanomanipulators
OmniProbeOmniProbe Cryo软件
AZtec3DAZtecFeatureAZtec LayerProbeTEM
Hardware
EDSUltim MaxXploreImaging
软件
AZtecTEM
波谱仪在扫描电镜上使用了罗兰圆的几何设计。即样品、衍射晶体和计数器必须都位于罗兰圆上。
WDS 硬件-波谱仪与W1控制器 | |
几何设计 | 全聚焦罗兰圆 |
元素定量范围 | Wave 500 - 0.17- 10.84 keV B (5) to PU (94) | Wave 700 – 0.07 – 10.84 keV Be (4) to PU (94) |
能量分辨率 | SiKα <2eV | FeKα <25eV |
检测限 | SiKα – 9ppm | FeKα – 15ppm |
X射线计数器 | P10 (Ar-CH4) 流量计数器,Xe密封计数器 |
与电镜间自动阀门 | 标配 |
Max+接口具有不同尺寸的光阑,用于在高束流下工作时降低进入EDS探测器的X射线计数率