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波谱仪

AZtecWave结合了波谱仪解析X射线谱峰灵敏性、微量及痕量元素准确性以及能谱仪检测元素时的高速及高灵活性的优势。发挥波谱仪高X射线分辨率的特点,能够在更低的检测限下解析复杂的谱峰重叠。作为在高计数率下也可实现高准确定量分析的EDS探测器,Ultim Max与Wave结合,是一款优秀的基于SEM下的元素显微分析系统。

  • 具有罗兰圆几何和弯曲晶体的全聚焦波谱仪

  • 出色的能量分辨率,可完全解析高密度的X射线谱线

  • 较高的峰背比意味着检测限低于100ppm

  • 电动入射狭缝可优化分辨率和峰背比

  • 倾斜几何结构实现快速分析,可重复性高及样品定位更容易


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AZtecWave_graph

AZtecWave采用全聚焦波谱仪,具有罗兰圆几何结构和弯曲晶体

  • 更高的峰背比意味着多数元素的检测限值通常低于100ppm
  • 电动入射狭缝优化了每个X射线的分辨率和峰背比
  • 对更大能量范围的线系进行优化,可使用更高的线系进行准确定量分析
  • 双计数器串联使用,Ar-CH4优化轻元素,Xe用于优化高能线系收集
  • 倾斜几何结构实现快速分析,可重复性高及样品定位更容易
  • 光谱仪迷你视图和模拟图实时显示光谱仪的位置和设置
  • 出色的能量分辨率可完全解析高密度的X射线谱线,轻松解决各种挑战性的问题
    • SiKa <2eV
    • FeKa <25eV

罗兰圆几何

Rowland_circle_Geometry

波谱仪在扫描电镜上使用了罗兰圆的几何设计。即样品、衍射晶体和计数器必须都位于罗兰圆上。

  • 样品与晶体,计数器与晶体之间的距离必须相同
  • 使用弯曲和研磨后的晶体以获得高分辨率
  • 对于高能量线系的分析,无需严格的光路要求、缓慢的机械对中或传输损耗
  • Wave的几何结构适用所有能量的线系,在扫描电镜上提供真实波谱仪能量分辨率
  • 对所有能量的X射线线系进行优化,使其一直可用于分析
  • 所有常见重叠元素线系均可区分,包括过渡金属K线
  • 使用低束流在更短时间内获得尽可能低的检测限

WDS 硬件-波谱仪与W1控制器
几何设计 全聚焦罗兰圆
元素定量范围 Wave 500 - 0.17- 10.84 keV B (5) to PU (94)   |   Wave 700 – 0.07 – 10.84 keV Be (4) to PU (94) 
能量分辨率 SiKα <2eV   |   FeKα <25eV
检测限 SiKα – 9ppm  |  FeKα – 15ppm
X射线计数器 P10 (Ar-CH4) 流量计数器,Xe密封计数器
与电镜间自动阀门 标配

WDS和EDS有标样定量分析所用标准样品

  • 提供37个标样(42个元素)和55个标样(56个元素)块
  • 所有标样均附有证书
  • 标准块包含一个法拉第杯,用于精准测量束流
  • 所有标准块均由Micro Analysis Consultants Ltd.为牛津仪器制造

 

 

 

Standardisation
Standardisation

当使用高束流分析时,Max+接口可优化EDS检测条件

Max Plus open New wheel colour key New beam current range max+

 Max+接口具有不同尺寸的光阑,用于在高束流下工作时降低进入EDS探测器的X射线计数率

  • 满足WDS分析的同时,优化EDS分析的检测条件
  • 具有Max+接口的大面积Ultim-Max EDS探测器适用于从低束流EDS纳米分析到高束流下EDS和WDS结合分析的所有应用
  • AZtecWave总能给出准确的结果

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相关应用

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