如何提高能谱检测碳含量的准确性

在利用SEM-EDS进行钢中碳含量检测时，常常会发现含量偏高，这主要是碳污染造成的。碳污染的主要来源有：

• SEM样品室的有机气氛；
• 粘样品的导电胶排出的气体；
• 样品表面由于与外界接触产生的污染；

在进行EDS分析时，随着束流的增加，分析时间的延长，碳污染会越发严重，所得碳的定量结果也会随之升高。

如图1为某样品中碳峰强度的来源，总强度包括了样品中碳的净含量、污染、重叠峰干扰及连续X射线强度。虽然牛津仪器AZtec软件利用Tru-Q^TM技术可以准确的剥离重叠峰并扣除连续X射线的影响，但碳污染的影响仍然无法彻底消除。

图1 碳Kα峰强度检测值组成

AZtecWave为牛津仪器全新一代波谱仪，完全集成了EDS和WDS的优势。利用AZtecWave可建立C含量的校准曲线，大大提高钢中C含量测试的准确性，可用于钢铁碳含量测试、渗碳层深度等应用。

• 利用有标样定量法提高碳含量检测准确性
• 利用AZtecWave工作曲线法准确测量钢中碳含量

本篇应用报告将以某工具钢样品为例，详细介绍上述方法及各自特点，下载完整应用报告查看。