背散射电子及X射线（BEX）成像

什么是BEX？

BEX是集背散射电子和X射线成像于一体的新型微区分析技术，可以在SEM下同步、高效采集背散射电子图像和元素面分布图。

此前，基于SEM的显微分析大多是静态的、逐步进行的，并且高度依赖用户经验。操作人员通常根据SE/BSE灰度图中的形貌或原子序数衬度进行样品导航，并借助EDS完成精细的成分分析。如果当前区域没有感兴趣的特征，则需要重复以上繁琐步骤。

With BEX imaging

With traditional imaging

在BEX技术的支持下，即使样品台移动过程中也能实时呈现试样的形貌、晶体取向、原子序数和元素分布等信息，让复杂样品分析极尽简便迅捷之能。只需稍作停留即可获得高分辨、高质量的元素面分布图，无论是开展更精细的分析还是继续样品导航都如丝般顺滑。

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Unity BEX成像系统提供了快速、准确、高分辨率的彩色成像技术解决方案。Unity探测器融背散射电子与X射线传感器于一体，整体位于极靴正下方。这种独特的设计使BSE及X射线成像得以同步进行，自此BEX成像诞生了。BEX技术消除了常规EDS分析中令人困扰的阴影效应，为成像质量提供了有力保障。

Unity探测器的问世为现有成像系统设定了全新的评价标准。在实际测试中，Unity使SEM的生产力放大了高达100倍。对于任意类型的分析，Unity都能够显著提高分析效率和设备使用率。此外，已购置的SEM均可升级为BEX成像系统，以提高生产力、灵活性、或延长设备的使用寿命。

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