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背散射电子及X射线(BEX)成像

什么是BEX?

BEX是集背散射电子和X射线成像于一体的新型微区分析技术,可以在SEM下同步、高效采集背散射电子图像和元素面分布图。


BEX技术能带来哪些新体验?

此前,基于SEM的显微分析大多是静态的、逐步进行的,并且高度依赖用户经验。操作人员通常根据SE/BSE灰度图中的形貌或原子序数衬度进行样品导航,并借助EDS完成精细的成分分析。如果当前区域没有感兴趣的特征,则需要重复以上繁琐步骤。

使用X射线(BEX)成像
使用传统方法成像

在BEX技术的支持下,即使样品台移动过程中也能实时呈现试样的形貌、晶体取向、原子序数和元素分布等信息,让复杂样品分析极尽简便迅捷之能。只需稍作停留即可获得高分辨、高质量的元素面分布图,无论是开展更精细的分析还是继续样品导航都如丝般顺滑。​

点击了解更多关于BEX技术的信息。​

Schematic drawing of the ideal geometry for combined EBSD and EDS analyses in the SEM chamber

Unity BEX成像探测器

为什么BEX技术正在重新定义成像标准?

Unity BEX成像系统提供了快速、准确、高分辨率的彩色成像技术解决方案。Unity探测器融背散射电子与X射线传感器于一体,整体位于极靴正下方。这种独特的设计使BSE及X射线成像得以同步进行,自此BEX成像诞生了。BEX技术消除了常规EDS分析中令人困扰的阴影效应,为成像质量提供了有力保障。​



高通量、高质量成像

Unity探测器的问世为现有成像系统设定了全新的评价标准。在实际测试中,Unity使SEM的生产力放大了高达100倍。对于任意类型的分析,Unity都能够显著提高分析效率和设备使用率。此外,已购置的SEM均可升级为BEX成像系统,以提高生产力、灵活性、或延长设备的使用寿命。​

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