AZtecHKL包括很多智能的EBSD采集工具，使得数据采集更快，更简单，更好

AutoCal
改变采集的条件后，每次点击仍然能采集到高质量的EBSD花样

• 在整个SEM的工作距离和伸入距离范围内，常规采集准确数据——不需要重新校准
• AutoCal是一套复杂的几何校准程序，它能根据几何变化，迅速自动校准参数。
• 补偿电子束在低倍移动时带来的投影参数变化。
• 这个系统很快且很容易设置，无论用户有没有经验。

AZtec根据采集条件的改变，自动且实时校正

为采集数据优化系统变得简单而自动

• 自动曝光
• 智能动态背底
• 在用户完全控制
• 改变SEM条件——、束流、放大倍数或样品台倾转——而无需重新校准
  
  • 仍然能采集优化的EBSD花样，并且正确解析

AutoLock

• AutoLock 是一项集成的漂移校正工具，实时校正EBSD和EDS数据，以得到准确的结果。
• 混合了预测和反应式漂移校正程序。
• 在倾转和未倾转的样品上都能校正漂移。
• 对高放大倍数纳米量级的EBSD采集尤为重要。

图像注册

所有AZtec采集的图像都可以用于样品导航和重新定位，在几天之后或在另一台电镜上都可以。

• AZtec接管电镜样品台的控制，并流畅地重新定位到感兴趣的位置；
• 在采集过程中，所有的图像和面分布图都自动注册，从而很容易重新定位到之前分析过的区域；
• 很多图像都可以用来做导航，比如，EBSD面分布图也可以用来导航到感兴趣区；
• 手动注册图像可以方便在另一天或另一台电镜上，进一步分析样品上专门的区域。

微观结构成像利用FSD（前散射）来找感兴趣区以便后续深入分析。AZtec与Symmetry的结合，对所有EBSD应用都是强有力的解决方案。

Symmetry探测最多可配置5个FSD。

• AZtec可以单独采集每个FSD的图像
• 可灵活定制混合这些图像的组合
• 自动的彩色FSD图像，相比灰度图像更凸显细节

AZtec大面积拼图可以无人值守，在很大样品区域内采集高分辨率数据（同时采集图像，EBSD和EDS面分布图）。

• 设置向导会在整个过程中引导用户，以完成大面积拼图的采集程序
• 为EBSD的倾转几何专门设计，以保证整个采集过程中样品表面的聚焦
• 在采集过程中自动对齐图像，以保证大面积拼图数据在剪辑前后都无缝拼接
• 采集最多1500个视场，每个视场最多8k图像分辨率和4k EBSD面分布图分辨率，最多能生成960亿像素的图像和240亿像素的EBSD数据
• 在采集数据过程中或采集完成之后交互：在大图中查看所有的数据，或放大查看细节
• 一个单独剪辑的大数据（最大6400万数据点）可以在AZtec中提取出来。就像标准的感兴趣区一样，包含：
  
  • EDS面分布图，自动相分布图和EDS谱图
  • IPF，欧拉角，相分布图和单独的EBSD衍射花样

TKD（透射菊池衍射，也叫t-EBSD）技术，用来在SEM中利用透射模式采集EBSD数据，在纳米尺度的材料分析表征应用越来越广。

虽然近几年技术取得了重要的发展，但是传统的EBSD技术仍然受到衍射花样来源体积的局限，分辨率在25～100nm左右。这对于准确真实地测量纳米结构的材料（平均晶粒大小小于100nm）仍然不够。

基于SEM的新的衍射技术诞生了。它采用能穿透电子束的样品结合传统的EBSD硬件和软件。这项技术，通常叫做透射EBSD（t-EBSD: Keller and Geiss, 2012）或TKD（TKD：Trimby, 2012），已经证明能达到优于10nm的空间分辨率。

TKD 的优势

• 空间分辨率优于10nm
• 纳米结构材料的常规表征的理想技术
• EBSD分析大变形样品

AZtec系统非常适合做TKD分析。它包含专门优化的TKD标定模式来采集准确的面分布图——甚至在纳米尺度。透射模式的EBSD花样具有较大的投影畸变，AZtec的TKD模式能更准确地检测衍射带，从而达到更高的标定率。