✔️ 高灵敏度
传感器尺寸从40 mm2 到 170 mm2 ，均提供完全相同的分析性能。
产品
FIB-SEM
Nanomanipulators
OmniProbeOmniProbe Cryo软件
AZtec3DAZtecFeatureAZtec LayerProbeTEM
Hardware
EDSUltim MaxXploreImaging
软件
AZtecTEM
在扫描电镜（SEM）的材料表征中，Ultim® Max ∞（“Infinity”）SDD 探测器释放了能谱仪（EDS）的无限可能。它同时具有出色的准确性、灵敏度和速度，为 AZtec Live 软件提供动力，以解决更多复杂和困难的分析挑战。
Infinity 相比许多其他探测器具有可靠的性能表现，从 40 mm2 到 170 mm2 的传感器都保证了高的灵敏度，并且具有完全相同的分析性能。
即使是困难的微米或纳米表征挑战，Ultim Max Infinity 也具有无限可能。无论是纳米结构分析、相鉴定、微量元素或痕量元素的识别、成分变化图的绘制，还是尽可能快地测量特征物，Infinity 都能提供正确的数据，帮助 AZtecLive 给出正确答案。
Infinity 代表了当前 EDS 探测器高水平技术，提供了独特的性能和能力，对于表征场发射扫描电镜（FE-SEM）和聚焦离子束扫描电镜（FIB-SEM）中更广泛范围的样品至关重要。
传感器尺寸从40 mm2 到 170 mm2 ，均提供完全相同的分析性能。
在计数率高达50,000 cps时，CKa 的分辨率可以保证为 46eV 或更好。
在计数率高达 200,000 cps时MnKa的分辨率可以保证为 127 eV或更好。
独特的全新 Tru-Q® IQ 谱图处理。每台探测器都在 SEM 上进行了特性分析，并单独优化以确保每次都能准确处理数据。
Infinity 脉冲处理与和峰修正相结合，识别元素并显示真实的元素分布。
Ultim Max Infinity 为扫描电镜带来了新的可能。Infinity 能够进行元素识别、定量分析和 X 射线面分布，并将这些功能结合到实时化学成像 （LCI）中，提供了更多可能。
实时化学成像将扫描电镜的电子探测器输出与 Infinity EDS 相结合，提供了更多的信息和细节。在研究样品时，实时电子成像已被广泛接受，用户期望的不仅仅是详细的形态和材料对比度信息。通过 LCI，添加了全新的元素信息层，元素分布作为单独的 X 射线图或叠加在电子图像上。
当你想确定样品中的元素及其位置时，样品研究不再需要停止和等待，LCI 始终显示这些信息。
实时化学成像将扫描电镜和 EDS 控制集成到一个强大的界面中，使用户能够控制图像优化（例如聚焦、消像散）、放大、载物台控制、图像选择，甚至从感兴趣的相中收集谱图…… 所有这些都在一起。看看 LCI 和 Infinity 能在你的样品中揭示哪些新信息。
纳米结构的 X 射线计数率总是非常低。将加速电压从 20 kV（微米分析）降低到 5 kV（纳米分析），EDS 的空间分辨率提高 10 倍，达到约 100 纳米，但是计数率会下降约 750%。
图像显示了 20 kV和 5 kV时的 X 射线扩展区域。通过将束流能量从 20 keV降低到 5 keV，EDS 的空间分辨率提高到约 100 纳米。
大型传感器可收集更多 X 射线，而 Ultim Max Infinity 可提供更大的传感器，尺寸范围从40 mm2 到 170 mm2。Infinity 弥补了较低电压 下计数率的损失，允许使用较小的加速电压来获得更好的空间分辨率和表征更小的结构。
对于纳米结构或表面科学类型的表面灵敏度，请查看我们的无窗探测器 Ultim Extreme Infinity，它可以实现亚 10 纳米的空间分辨率和亚 2 千伏的分析。
Ultim Max Infinity 不仅是一款为每个传感器尺寸提供相同性能的探测器，而且也是一款用于纳米分析的探测器，并且是微观分析中计数率性能更佳的探测器。
对于纳米分析，锰的分辨率没有太大意义，因为此时的束流条件一般无法激发 Mn K 线系。因此需要的是低能端X射线的分辨率，比如碳。毕竟，相较于高能量下，较低能量下 X 射线谱线通常相距约 5 - 10 倍更近，分辨率显得更为重要。Ultim Max Infinity 的所有尺寸传感器（直至 170 平方毫米），在高达 50,000 cps 的计数率下，CK 分辨率保证为 46 eV或更低。这一点至关重要，因为越大的传感器对于纳米表征具有更好的灵敏度，但仍需要出色的低能探测器分辨率才能成功进行分析。
在低能量下，谱峰重叠很常见且复杂，提高谱图分辨率是正确处理此数据的关键。
使用较高能量进行微观分析时，谱峰间距更宽，性能更多地受到计数率的限制。Ultim Max Infinity 的独特之处在于它可以在高达 200,000 cps 的计数率下，40 mm2 到 170 mm2的探测器都能实现优异的性能（MnK 为 127 eV）。并且对于大面积探测器来说，这样的高计数率也更容易实现。
如今市场上的大多数探测器都声称符合 ISO15632。如果真是这样，那么它们必须在 CK、FK 和 MnK 处具有保证性能，并且在至少高达 50,000 cps 的条件下保证的分辨率性能。所有 Ultim Max Infinity 探测器，无论是 40、65、100还是 170 mm2，都具有相同的保证性能，并且在安装时进行测试。
在高达 50,000 cps 的计数率下，CK 为 46 eV 或更好。
在高达 50,000 cps 的计数率下，FK 为 59 eV 或更好。
在高达 200,000 cps 的计数率下，MnK 为 127 eV 或更好。
通过阅读此博客了解更多关于 ISO15632 及其重要性： ISO15632 发布 22 年。我们在指定 EDS 探测器方面取得了哪些进展？?
Tru-Q® 技术是在 2011 年与 AZtec Energy 一起推出的，彻底改变了 EDS。在同步加速器上进行基本 EDS 探测器校准，能够在扫描电镜上准确表征每种探测器类型。利用这种表征，Tru-Q 在定量分析、自动识别、谱峰去卷积和实时图谱校正方面实现了新的准确性和可靠性。
通过观看我们的网络研讨会了解 Tru-Q 如何彻底改变了无标样定量分析：定量 EDS 解释：如何获得出色结果。
Tru-Q IQ 将测试提升到一个新的高度，每个 Ultim Max Infinity 探测器在制造过程中在扫描电镜上进行表征，然后进行单独的探测器优化。此优化在安装到每台扫描电镜上时得到确认。这为每个 Infinity 探测器提供了优良的性能，能够很好地应对更为复杂的分析挑战，解决具有挑战性的低能端谱峰重叠问题，并找到更低含量的元素。
Tru-Q IQ 与谱图数据的完美匹配意味着在 NbL 和 MoL 线的强烈重叠下可以识别像磷这样的微量元素。
当使用低能量 X 射线谱线成面分布时，探测器表征与输出的匹配是至关重要的。能量低于 500 eV 的谱线允许使用几kV电压来优化空间分辨率并表征小于 50 纳米的结构。
例如，SL（149 eV）、NbM（172 eV）和 MoM（193 eV）谱线的能量均低于 CK，且仅相隔 23 和 21 eV。借助 Tru-Q IQ，可以准确处理这些谱线，允许使用低于 3 千伏的加速电压，并能揭示小至 30 纳米的物相中的元素真实分布。
大尺寸传感器的 EDS 系统在20kV的加速电压下对微米结构进行分析，可以轻松获得高达 100 万 cps 的计数。这使得在几秒钟内收集高分辨的X 射线面分布图。这对于表征小于 5 wt%的元素特别有用，因为它们的信噪比极低。然而，微量元素的X射线信号很容易被其他信号所覆盖。
当两个 X 射线信号在探测器中近乎同时到达时会导致它们被认为是一个信号，其能量就会被加和在一起，产生和峰假象。当输入计数率通过数十万至 100 万 cps 时，和峰假象将会逐渐占据主导，掩盖真实信息，并降低来自真实 X 射线的信号。当通量到达最高时，X 射线的实际计数率反而会开始下降。
Infinity 解决了和峰假象，提供高计数率的 X 射线成像，保证真实元素峰计数最大化，消除假象。Infinity 使用一种新的信号处理方法，通过减少和峰假象并恢复主峰计数率。
在最高计数率下，通过和峰修正的方法使得和峰假象最小化，该方法使用 Tru-Q IQ 技术针对每个探测器进行单独优化。另外，原先在面分布图中被用于判读元素的总谱图，现在也可以根据相合并的功能来反映物相真实的元素成分，小的物相也可以被轻松探测到。
和峰修正的算法速度现在也足够快，可以在 Quantmap 处理期间逐像素进行校正。这意味着 现在可以直接对X 射线面分布数据进行谱峰重叠元素剥离、扣除X 射线背底、计算基体效应（例如X射线吸收等），去除由于和峰引起的干扰，速转换为真实元素和质量分布，揭示新的细节信息。并允许在几分钟内绘制微量元素的面分布图。
对于 SEM 中传统能谱所面临的挑战，例如小于 25 nm的纳米结构的表征、薄表层的观察，或者仅仅是极低的加速电压、工作距离太小而无法看到 EDS 信号时，Extreme Infinity 提供了解决方案。Extreme Infinity 经过优化，可在极低的加速电压和极短的工作距离工作，获得更好的低能量光谱分辨率。
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AZtecLive 是一款由 Ultim Max Infinity 支持的软件，可将 EDS 的无限可能发挥到极致。了解实时化学成像如何成为样品研究的新方法，了解我们的定性和定量分析工作流程以及 X 射线绘图和线扫描。了解可帮助您使用 EDS 解决 SEM 表征难题的工具。
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BEX是扫描电子显微镜（ SEM ）中革命性成像技术的新型探测器（同时收集背散射电子和X射线信号）。 Unity包含了一台BEX探测器以及一台常规EDS。 当移动样品时，它可高效地同时获得背散射电子和X射线信号，提供包含有元素信息的彩色图像。
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