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Unity

成像简单而精彩

近日,牛津仪器发布了Unity探测器,一种扫描电子显微镜下全新的成像技术就此诞生。Unity是同时集成背散射电子和X射线(BEX)传感器的商用成像系统。Unity的全新设计实现了背散射图像与元素面分布图的同步高效采集,为样品导航提供了高分辨率全彩成像技术解决方案。

Unity采用了革命性的设计理念,在电镜极靴下完美融合了背散射电子和X射线传感器。通过优化传感器设计与布局,大幅提升了可用信号量,确保在常规SEM分析条件下也能获得高质量、高通量和高分辨率的BEX成像效果。Unity革新了SEM下的成像和样品导航方式,让成像变得简单而精彩。

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全新设计

Unity在极靴下工作,该硬件设计为成像速度和质量带来了巨大优势。

双传感器布局

Unity完美集成了背散射电子(BSE)和X射线传感器。Unity的BSE传感器与常规BSE探测器相似,成像区域中更亮的部分拥有更高的密度或平均原子序数。

与传统成像探头不同,X-ray传感器采集来自样品的特征X射线并转化为成分信息,使得Unity系统可快速生成彩色图片。随即,来自这两个传感器的信号可智能叠加,获得易于解释的样品形貌图。

通过瞬时获得样品图像,消除了样品分析过程中的主观臆断和不确定性,是操作人员更有信心的进行样品检索,极大提高分析效率。

专为日常使用设计

Unity BEX成像系统操作简单便捷,能够轻松应对各种分析条件的挑战。


✔️ 灵活的工作距离


Unity在极靴下工作,X射线传感器的立体角更大,同时保证了在较宽泛的WD范围内元素分析结果的一致性和准确性。




✔️ 无阴影无遮挡


Unity的双X射线传感器设计消除了样品表面起伏造成的阴影效应,即使在深槽、断面等难做样品上也能获得足够信号量。此外,双BSE传感器可用于Z衬度和形貌衬度成像,两种模式一键即可切换。




✔️ 成像视野大


Unity探测器前端设计了大尺寸光阑,电子束能够通过,即使在鱼眼模式下也无视野遮挡,有利于全景模式成像和高分辨率精细分析。




✔️ 适配低真空模式


应对导电性差的样品,Unity可一键由高真空切换至低真空工作模式,无惧荷电影响。



✔️ 高性能BSE传感器


Unity的BSE传感器采用定制的几何外形和帕尔贴制冷技术,拥有更高的信号量和探测灵敏度。


结果可靠稳定

Unity BEX成像系统继承了牛津仪器在先进X射线检测技术方面几十年的经验和优势,现已完美集成于AZtec软件平台。在Tru-Q算法引擎、高通量X4脉冲处理器和AZtecLive实时化学成像技术的共同赋能下,样品台稍作停留即可获得准确可靠的高分辨率BEX成像结果。

工作位置

Unity探测器在极靴下方工作,有效提升了X射线的接收范围,在常用BSE成像条件下(较低束流和较短驻留时间)也能获得足够信号量。

With BEX imaging
With traditional imaging

轻松且高效的样品检索

Unity极大地简化了样品检索的过程,您可以在更大区域内定位感兴趣的特征。随着样品台移动,彩色的元素面分布图随即同步呈现于眼前,便于快速识别特征并进行深入分析。您还可无缝切换到EDS、WDS或EBSD模块开展更详细的研究。

Unity BEX成像技术带来的高速样品检索,从根本上改变了SEM的工作流程,使设备的生产力提升高达100倍。

全景模式

以往对样品进行全域高分辨率元素成像是一项费时耗力的工作,通常需要花费数小时乃至数十小时才能完成,工作效率和设备使用率非常低。而Unity仅需几分钟即可呈现同样甚至更优的效果。

左侧的图像分析了3D打印粉体中的异物,Unity在30分钟内完成了整个Φ12mm样品的高分辨BEX成像。数据后处理可离线进行,大大提升了设备的使用率。

右侧的图像显示了深海锰结核样品的显微结构,这是一种在海床上发现的多金属氧化矿石。Unity高通量BEX成像系统仅用3小时26分钟就完成了1288个独立视场的采集,分析区域约26 mm x 22 mm。

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Si
Al
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新的时代即将开始

Unity是背散射及X射线成像探测器。右侧的视频诠释了为什么Unity BEX成像技术将引领SEM成像技术的发展。


探索如何从BEX中获益更多...

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