产品
FIB-SEM
Nanomanipulators
OmniProbeOmniProbe Cryo软件
AZtec3DAZtecFeatureAZtec LayerProbeTEM
Hardware
EDSUltim MaxXploreImaging
软件
AZtecTEM
牛津仪器波谱仪AZtecWave令扫描电镜也可实现电子探针的功能
与AZtecLive EDS软件和技术无缝集成
通过Aztec Wave使用EDS及WDS联用的方式检测不锈钢样品的元素含量
通过WDS对高温合金中仅0.1wt%Co元素的Ka线做谱图扫描
导航式的工作流程指导您逐步完成波谱仪的参数设置和性能检查
在有需要时生成性能测试报告(例如认证时)
波谱扫描的方法及特点
EDS和WDS联合采集和定量分析的专用工作流程
导航条工作流程,确保使用标准样品对系统进行校准,以便获得准确的结果
AZtecWave | |
谱仪设置 | ✔ |
定量分析 | ✔ |
图像配准及导航 | ✔ |
标准化 | ✔ |
引导式样品交换及谱仪器关闭 | ✔ |
WDS谱图模拟 | ✔ |
WDS采集时间线 | ✔ |
利用EDS结果信息自动进行参数设置 | ✔ |
三路控制方式束流测量/采集时间/精度 | ✔ |
定量谱图扫描 | INCA Wave |
WDS元素面分布 | INCA Energy+ (optional) |
WDS尤其适用于需要对微量元素、有重叠峰元素进行准确定量的固体样品,这类样品广泛存在于冶金、地质、电子、半导体、刑事侦缉以及能源领域。通过AZtecWave,将WDS与EDS技术相结合,能够在SEM中为固体样品提供一个全方位、兼顾速度和准确性的元素、成分分析系统。
Discover detailed applications examples本视频解释了牛津仪器全聚焦罗兰圆型波长色散光谱仪(WDS)的工作原理,以及其与EDS结合进行数据采集的过程。
视频内容包括:
本视频展示了使用全聚焦罗兰圆设计的WDS进行面分布成像时,可以更好地凸显微量元素和有重叠峰影响的元素的真实分布情况。
视频中使用的样品是一个含有多相夹杂物的钢铁样品,其中WDS的面分布功能是即将推出的WDS和EDS一体化采集元素分布图的新功能。
WDS扫描是AZtecWave中的一个新的工作流程,它可以对EDS分析后存疑的元素(如微量元素,受重叠峰影响的元素等)进行更智能的扫描和识别。
视频中的样品包括矿物、金属以及电子产品中常用的焊料。视频还包括以下内容:
了解AZtecWave获取实现高质量的结果,实现全元素的快速、准确检测。
AZtecWave是能在SEM平台上实现电子探针(EPMA)能量分辨率和性能的波谱操作系统。观看视频,了解AZtecWave的全谱扫描显示EDS技术很难直观地解决的所有重叠峰元素及痕量元素的判定。
EDS和WDS都是利用电子束与样品相互作用时产生的特征X射线来确定元素成分的技术。但EDS可以同时收集所有能量段X射线,而WDS每次收集一种X射线(即某特定元素的特定X射线),因此EDS采集速度更快,更常用于基于SEM的成分分析。然而,WDS优异的能量分辨率则更有利于区分谱峰能量值相近的元素。
本视频展示了如何利用AZtecWave快速采集EDS-WDS数据,进行成分分析。
AztecWave解决了传统波谱仪操作繁琐、检测慢的问题,在提高检测速度的同时,依然保持了波谱仪的准确性和精确性优势。查看视频了解AZtecWave中如何连用EDS和WDS达到快速、准确的元素分析。