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OmniProbe 200

这是一款安装在FIB和SEM端口上的纳米操纵手,内置了一个100nm闭环反馈控制器,具有准确、灵活、易用等特点。

  • 闭环系统

  • 专利方案


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这是一款安装在FIB和SEM端口上的纳米操纵手,内置了一个100nm闭环反馈控制器,具有准确、灵活、易用等特点。使用闭环系统进行操作,完全独立于电镜样品台定位,从而为样品操作提供了额外的自由度。该专利利用定制的样品台和探针组合(CSP)可将样品重新定位到特定角度。

特色和优点
  • 包括第8代具有创新性的先进技术;
  • 实现从纳米线操作到TEM样品制备,再到电学和机械测量的各种应用;
  • 3轴样平台可以沿任意方向线性移动(全向性);
  • 在任何样品倾斜角度下都能实现正交导航;
  • 将样品快速旋转到特定角度;
  • 可以大范围内执行平稳而精确的操作;
  • 即使在视野外也始终知道探头尖端的位置;
  • 在任意端口安装都可以预测移动行为;
  • 可以轻松地调出存储位置,减少操作员疲劳,并提高成功率;
  • 避免碰撞;
  • 气动插入/回缩链接到电镜软件(取决于OEM);
  • 内置能力,可为针施加最大+/- 10 V的偏压,用于电压衬度成像或其他应用。

同轴旋转功能

同轴旋转分辨率可达0.1度,使样品在旋转期间一直处于相当于60um水平视场的放大倍率下成像。

  • 可以安全的完成样品旋转,没有任何碰撞的风险。每次旋转后,不需要重新定位样品或探针尖端。
  • 在FIB中,这保证了对针尖打磨的速率及简易性,以改善电学特性表征的可靠性及对20nm以下特征样品尺寸进行操作时的精确性。

自动化系统
  • 电脑和显示器;
  • 2U机架式以太网控制器;
  • 带有100nm线性反馈的3轴样平台;
  • 运动控制软件界面;
  • 用户手册和安装指南。

选项

同轴旋转功能

  • 同轴旋转分辨率可达0.1度,使样品在旋转期间一直处于相当于60um水平视场的放大倍率下成像。
  • 可以安全的完成样品旋转,没有任何碰撞的风险。每次旋转后,不需要重新定位样品或探针尖端。
  • 在FIB中,这保证了对针尖打磨的速率及简易性,以改善电学特性表征的可靠性及对20nm以下特征样品尺寸进行操作时的精确性。

自动化系统

  • 电脑和显示器;
  • 2U机架式以太网控制器;
  • 带有100nm线性反馈的3轴样平台;
  • 运动控制软件界面;
  • 用户手册和安装指南。

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