Oxford Instruments provides AZtec analysis software and a wide choice of SDD detectors for EDS analysis in the SEM or FIB.

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Symmetry S2是市场上真正的全能型EBSD探测器，它采用先进的CMOS技术是一款革命性的EBSD探测器。为所有EBSD应用提供优越的品质、灵活易用以及一系列创新设计的功能。亮点包括：

Ultim Max是新一代硅漂移型探测器（SDD)，配有大面积晶体和低噪音电子元器件，分析速度和探测灵敏性都有大幅提升。

INCA WAVE 波谱仪是SEM中很少采用与EPMA相同的全聚焦几何设计的波谱仪。这意味着分辨率提高了2倍，测量更加稳定且可重复。