波谱

波长色散谱仪

什么是WDS？

WDS（或WDX）代表波长色散X射线谱仪。

WDS是一种通过测量电子束轰击固体样品产生的特征X射线来确定元素组成的分析技术。它通常用于识别元素或定量测定样品上微米尺度的元素含量，以及获得样品表面元素的分布图。

通过WDS测量X射线信号与更普遍的SEM-EDS方法测定元素含量类似。

WDS的能量分辨率比EDS高约10倍，能够：

•微量元素的可靠检测和准确定量分析（<0.2 wt%）

•X射线重叠峰剥离，为EDS能谱中无法区分的元素线系提供可靠的识别和最准确的测量

Wave为SEM提供了全聚焦罗兰圆型波谱仪，提供了最佳的光谱分辨率。将波谱仪与Ultim Max EDS联用，将这两种技术的优势（速度和灵敏度）结合在一起，为SEM上的元素识别和成分测量提供了无与伦比的精度。

探索在SEM中添加波谱仪的五个主要原因：

AZtecWave消除了WDS分析的复杂性，并与EDS分析相结合。它提供了：

•专业的导航器和工作流

•波谱仪设置和分析的步骤注释

•独特的技术，可在采集前合成理论WDS谱图：

提供最优化的WDS（及EDS）自动采集设置

允许在开始采集数据之前对数据的预期质量进行评估

•WDS和EDS数据的同时采集和自动组合

•内置波谱仪性能检查功能

了解有关AZtecWave的更多信息以及升级INCA Wave系统的五个主要原因：

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