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Ultim® Max

Ultim Max系列能谱仪采用高端技术设计,将大面积晶体(最大可达170mm2)和Extreme电子电路结合起来,使该系列探测器拥有采集速度快、敏感性高和定量分析准确性高的特点。

Ultim Max系列中所有型号探测器在130,000cps计数率下能够同时保证轻元素(C Ka、F Ka)和重元素(Mn Ka)的能量分辨率达到技术指标。在发货前,工厂会在SEM上测试探头的性能。安装时会再次测试能量分辨率,确保客户在使用时(高计数率、低电压、原位测试等条件)下得到高质量的结果。

Ultim Max系列探测器采用集成、可控伸缩设计,在使用时可快速推进,不使用时可快速撤出。


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Ultim Max是牛津仪器推出的新一代硅漂移探测器。大面积晶体探测器和Extreme电子电路优化实现高灵敏性下的高速采集。

Ultim Max系列探测器拥有大面积晶体,同样时间内,保证相同水平定量分析的准确性的前提下,采集到的X射线计数可以达到以往的17倍。当您希望采集更大的区域、每个像素点有更多的X射线计数、采集速度更快或者表征纳米结构时,Ultim Max探测器将是扫描电镜上X射线分析的理想解决方案。

1.晶体面积

2.低噪音X射线探测

3. 波纹管SEM接口

4.可控伸缩

5.可在大于400,000cps条件下定量分析

6. 可在大于1,000,000cps条件下进行面分析

7. 晶体面积很重要

8. Tru-Q®算法保证高低计数率下定量分析具有同样的准确性

9. 样品损伤

10. 样品污染

11 TruMap

12.实时元素成像

13. 低含量元素的成像

14. 轻元素分析

15.低电压分析

速度

Ultim Max系列探测器采用Extreme级电子电路和X4脉冲处理器,最高计数率超过1,500,000cps,可在400,000cps计数率下进行准确定量分析。

敏感度

Extreme电子电路的噪音水平非常低,可以准确地识别低能端的X射线。

纳米分析

Ultim Max系列探测器拥有大面积晶体,同时保证低能X射线的能量分辨率,是低电压下分析纳米结构元素分布的得力工具。

实时元素成像

Ultim Max系列探测器的大面积晶体和高通量处理器使电镜平台上元素的实时成像成为可能。

 

晶体面积很重要

相同时间内采集效率提高17倍

Ultim Max系列探测器拥有大面积晶体,在相同时间内采集效率可以提高17倍,同时不损失定量分析的准确性。当用户希望采集更大面积的区域、每个像素点获得更多的X射线技术、采集时间更短或者研究更细小的纳米结构时,Ultim Max探测器是理想的选择。


应用案例

低电压下分析NAND 闪存

X-Max Extreme搭载在GeminiSEM 500表现出强大的表征能力,可用于10nm以下的纳米结构的成分分析。比如在实际应用中,Ultim Extreme被用来表征Fe-Ce纳米颗粒和GaInAs量子点。

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AZtecLive内核:Tru-Q®

该文描述了AZtecLive中用于自动实时元素分析涉及到的信号处理技术。

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AZtecLive内核:TruMap

该文介绍了TruMap功能如何给出正确的元素分布状态,展示了如何通过TruMap区分钢渣中的微量元素分布的真伪。

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