✔️ 微柱压缩
- 确定滑移或孪晶的临界分切应力(CRSS)
- 表征单轴应力下的变形机制
- 量化材料的塑性损伤和应变集中
FT-I04是一台高分辨、高通量的纳米压痕仪,能够精准地量化材料在微米和纳米尺度上的力学性能和摩擦学性能。
作为一台基于MEMS技术的纳米压痕仪, FT-I04使用获得专利的Femto Tools微机电系统(MEMS)技术。基于二十多年的创新,FT-I04纳米压痕仪具有高分辨率、可重复性和动态稳定性。
FT-I04专门针对金属、陶瓷、聚合物、薄膜和涂层等材料的力学性能测试进行了优化。结合可选的测试模块, FT-I04可以扩展其功能以适应各种研究领域的多功能要求。典型应用包括使用连续刚度法(CSM)纳米压痕测量硬度、弹性模量随压入深度的变化关系,以及通过高通量的纳米压痕映射(每个CSM压痕不超过1秒)来得到力学性能的分布云图。此外,结合可选的测试模块,FT-I04还可实现划痕、磨损测试、表面形貌扫描(SPM)和高温下的纳米力学测试。
通过低至0.5 nN的载荷背景噪音(真实环境下的保证值)和低至0.05 nm的位移背景噪音(真实环境下的保证值),以及高达2N的力学测量范围,FT-I04纳米压痕仪能够以前所未有的准确性和可重复性来全面研究材料的多尺度力学行为。
一维微力传感器
二维微力传感器
集成加热功能的微力传感器(压头独立加热
FT-I04纳米压痕仪是一款基于微机电系统(MEMS) 技术的高分辨率纳米压痕仪。
传统的纳米压痕采用机加工和组装制造的力测量元件,FemtoTools则使用半导体制造技术,从单晶硅片中加工出整个力传感器。这种方法克服了传统技术的局限性,能够制造出更小和更精密的结构,使FT-S系列力传感器具有更高的灵敏度、分辨率和可重复性。
此外,得益于MEMS传感元件的小体积,其质量比传统力传感器低几个数量级。结合其结构的高刚度,FT-S 微力传感器能够提供高达100 kHz的谐振频率。因此,它能有效测量快速事件或进行高频疲劳或循环测试。