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半导体、微电子和数据存储
过程控制和异物分析

批量生产的关键是要保持产品的质量,并迅速识别部件在制成过程中的不良变化,通常这意味着部件表面出现异常区域或异物。

当设备从开发转向批量生产时,工艺变化、污染或硬颗粒的存在可能会导致严重问题。例如,即使是纳米大小的粒子存在于硬盘驱动器中也可能导致磁盘故障或磁头碰撞。为了确保质量,快速准确地识别、分析和分类这些污染物或颗粒至关重要。通过对异物进行准确分类, 可以快速确定故障或制成变异的根本原因,从而尽可能减少停机时间、提高生产率并确保整个供应链的质量。AZtecFeature 的引导式工作模式和智能算法,,可以轻松地检测和表征大面积范围内可能存在的数千个颗粒。

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应用实例

Particle & Feature Analysis with AZtecFeature

Here we consider AZtecFeature in the context of engine wear monitoring, geology and air cleanliness and pollution. We discuss how key improvements in AZtecFeature in combination with recent advances in EDS hardware make it a compelling proposition for a much wider group of researchers and practitioners in industry and academia.

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