到底有没有，扫一扫就知道——AZtecWave的Wave Scan功能介绍

在之前的报告中，我们介绍了牛津仪器全新AZtecWave波谱系统，它的210mm半径大罗兰圆结构带来了优异的分辨率，并且可以达到电子探针（EPMA）相同水平的定量准确性。

日常使用过程中很多人都有体会，由于EDS的能量分辨率分辨率所限，在分析过程中常常会遇到谱峰重叠的情况，如Cr/Mn, Fe/Co, Ba/Ti, S/Pb, 稀土元素等。即使利用具有多道谱仪的EPMA(电子探针)对整个能量范围段进行全谱扫描，效率也较低。AZtecWave的 WDS Scan谱图扫描功能，拖动鼠标选中需要分析的能量段，即可获得该能量段内高分辨率的WDS谱图， 帮助确认重叠元素及痕量元素的存在。

1 区分严重重叠峰元素

如图1，为某辉钼矿（MoS₂）样品的EDS及WDS谱图。2.307kev的S k_α1线和能量为2.293kev的Mo L_α1线，相差17eV，黄色的EDS谱图无法将两者分开。而通过在2.25keV到2.48keV能量范围内WDS扫描，如灰色谱图，可清楚的确认Mo和S元素均存在。

图1 某辉钼矿（MoS₂）样品EDS及WDS谱图分析S k_α1线和Mo L_α1

第二个样品为 Ti-6Al-4V 合金，如图2。 WDS Scan所得的灰色谱图中，Ti K_β1 与V K_α2 , V K_α1能量分别为4.932keV 和4.945keV, 4.952keV。 能量相差分别为13eV和20eV，通过WDS Scan扫描分析，多个相邻线系存在与否一目了然。即使能量相差7eV的V K_α2 和 V K_α1同样可以区分，充分展现了AZtecWave优异的能量分辨率。

图2 某Ti6Al4V样品EDS及WDS谱图分析Ti K_β1与V K_α2 ,V K_α1

2 辨别痕量元素存在与否

WDS Scan功能除了可以可视化区分能谱中的重叠峰，也可用于确认痕量元素的存在与否。如图3为WDS Scan功能对钢样品中存在的痕量P（约100 ppm）的分析。在AZtec软件中仅需选择要扫描的线系P kα并输入预期含量0.01%，软件会自动设置如采集时间、狭缝宽度、狭缝位置等参数。在Wave Scan过程中，每步最多可实现50秒的驻留时间，从而实现痕量元素的检测。

图3 WDS Scan功能分析含有约100ppm P的钢铁样品

AZtecWave中的Wave Scan功能可通过自动模式或简单的设置，便捷的区分能谱分析中存在的疑虑，尤其对严重重叠峰及痕量元素的确认帮助明显。如果对存疑元素需要进一步做定量及Mapping分析，可以进入AZtecWave对应模块进行后续分析。

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