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FIB-SEM
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Hardware
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软件
AZtecTEM
CrossCourt 是BLG Vantage 公司开发的一款高分辨EBSD分析软件。CrossCourt 的基本原理是通过花样的互相关(CrossCorrelation)分析,测量晶格畸变和旋转,来表征弹性、塑性应力和应变。其弹性应变探测限低至 0.01%,位错密度测量精度可达 1x1012m-2。CrossCourt拓展了传统EBSD技术的应用范围,使得EBSD能更有效地分析力学过程中的应力和应变。
相比传统EBSD通过Hough变换标定的取向,CrossCourt 通过直接比对花样的相对位移,有效地提高了取向的精度。位移的精度可达像素的1/10至1/20,最终取向的精度比传统EBSD甚至可高达80倍。
牛津仪器新一代的CMOS EBSD具有1244x1024的高分辨率和高灵敏度的特点,能为CrossCourt分析提供高精度的花样和快速地数据采集。