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Image of Horizon 10k Ion Polisher unit

Horizon 10k 离子抛光机

Oxford Instruments Horizon 10k 离子抛光机为可重复、准确、高效的样品制备开辟了一条新途径。

离子抛光机具备以下功能:

  • 快速磨削速度:1,000微米/小时(硅,8千伏)
  • 通过冷却阶段最大限度地减少热损伤
  • 提供平面蚀刻功能的平磨功能
  • 快速抽真空/排气时间,样品装载简便
  • 提升前掩模使用效率
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开启可重复、准确、高效样品制备的新途径

离子抛光机采用 氩等离子体对平面和截面样品进行蚀刻和制备。这提供了一种互补的样品制备技术,为挑战性材料的分析开辟了新水平。

​简便的样品固定和直观的工艺流程确保了高重复性,且手动操作极少。这提高了样品制备效率,并消除了在处理软质/难加工材料时的人为错误。

AZtecCrystal 离子束研磨制备的电池阴极材料的颗粒分析
均匀单相钢样品的相图和取向图。相图显示钢晶粒(红色)中诱导的相变极小,且具有较高的取指程度。

相图和取向图,展示均匀单相钢样品的结构。相图显示钢晶粒(红色)中诱导相变极小,且具有高取向性。​

最小化敏感样品的相变

该过程可真实呈现材料特性,同时避免样品变形、结构损伤及污染。

提升的灵敏度使以下应用成为可能:

  • 分析束敏感材料
  • 由于探针电流降低,空间分辨率提高
  • 现有分析的更高通量
  • 与传统FIB样品制备相比,离子抛光可返回显著更大的样品

一种新的样品制备技术​

应用

我们的高温EBSD解决方案可与EDS红外滤光片配合使用,实现对材料微观结构和化学成分的全面表征。红外滤光片解锁了EDS高温分析功能,这对理解金属、合金、陶瓷、复合材料和聚合物等多种材料中的沉淀、相变、扩散和偏析等现象至关重要。它还可以与EBSD结合使用,实现对材料微观结构和化学成分的全面表征。

本例展示了Fe-Ti合金的高温EDS与EBSD联合实验。样品被加热至900°C后冷却至500°C。视频直接观察到Fe在基体中的扩散过程,以及Ti相从α相向β相的相变。

样品由曼彻斯特大学提供。

了解如何从 CMOS EBSD IR 屏幕中获得更多信息

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