波谱WDS点分析及面分布也能自动化啦

18^th August 2022 | Author: Rosie Jones

波谱WDS也能自动化分析啦

自动化WDS分析的意义何在？

相较于能谱EDS分析而言，波谱WDS分析通常较慢。这主要是由于WDS一次只能测量单一波长的X射线，而EDS是全谱测量，要使用WDS进行多元素的检测，需要反复执行多次。同时WDS的立体角比EDS小，信号量相应较低，需要更长的采集时间。

因此，对于WDS分析而言，如果能够跟EPMA一样，首先定义多个不同位置的点或者一条线上的若干点，然后自动依序收集这些点的WDS数据，必能大大节省分析时间，提高分析效率。

自动化点分析如何实现？

在新版AZtec中，WDS定量界面将新增自动化选项。自动化点分析可以通过两种方法实现：

1． 定义样品台位置，采集整个视场的平均谱图

2． 通过定义样品台起始位置来确定直线，定义直线内的采集点数或点之间的间隔距离来确定采集点的数量。

WDS可与EDS同时采集，与分析前/后采集的电子图像相结合，可以直观地确认分析点是否正确，以及将分析的点与成分一一对应起来。以下就是AZtecWave自动化点分析的操作界面。

​EDS+WDS：快速且全面的元素面分布

由于EDS是全谱采集，且信号量比WDS大，通常使用EDS面分布可以快速得到待分析区域的元素分布信息。但是遇到类似下面的情况，就需要使用WDS，才能获得更全面、更准确的元素分布信息：

• 元素含量低于EDS检测限时，WDS的检测限优于100ppm，而EDS约为1000ppm。
• 使用EDS的去卷积处理（TruMap/QuantMap）无法区分的严重的重叠峰。WDS是波长色散谱仪，其能量分辨率比EDS好约10倍，因此可以轻松区分这些元素的重叠峰。
  

以下结果对比了使用WDS和EDS对钢铁样品析出相中含有的微量稀土元素Pr和Gd进行区分并采集其面分布图的差别，WDS可以轻松检测出其中微量的稀土元素并进行面分布成像。

​EDS（黄色）和WDS（灰色）的能量分辨率对比，波谱适合更多痕量、严重重叠峰元素的分析

WDS面分布图可以更好地对含量少、且有重叠峰影响的元素进行表征，Gd WDS mapping结果更加真实可靠

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