上回说到WDS最大的特点在于优异的能量分辨率（点击查看往期：为什么能量分辨率对WDS分析如此重要？），但传统WDS/EPMA操作步骤复杂。牛津仪器X射线产品经理BURGESS Simon博士从1993年开始使用EPMA(电子探针)，但即使他已在波谱分析方面积累了27年的经验，也不敢保证具备专业技术或丰富经验，就能每次都获得正确的元素分析结果。

在进行WDS分析时，即便是像Simon博士这样的专家，有时也会遇到各种棘手问题，比如：

• 如何确定谱峰采集时间？
• 如何确定背底采集时间？
• 如何选择束流大小？
• 如何选择背底采集位置？
• 是否有其它元素影响定量结果？
• 如何减小WDS分析中的误差？

Simon根据多年来在理论学习和实际操作中积累的“经验法则”，可以一定程度的解决以上难题，但更多人，仍然需参考WDS系统的使用手册或向其他专家、同事寻求帮助。 牛津仪器2020年开发的AZtecWave软件的一大亮点，是可以通过SEM-EDS的信息辅助用户进行WDS参数的设置。牛津仪器在AZtecWave平台上建立了一套标准工作流程，该流程更加直观，易用性高，且大大简化了WDS分析时设定采集参数的过程。通过该流程可以从样品和电子显微镜直接获取以下信息：

• 经EDS分析得到的样品化学成分；
• EDS探测器的计数率和死时间；
• 加速电压；
• 束流（由直接测量的样品吸收电流计算得出）；

用户只需要在AZtecWave中明确哪些元素需要进行WDS分析即可。基于以上信息，AZtecWave会自动模拟理论谱图并计算出合适的WDS采集条件。下图是一个由轻稀土（镧系元素）构成的复杂磷酸盐矿物的模拟谱图。为了避免其它谱峰对镨元素（Pr）定量结果的干扰，软件自动选择了该元素的L_β 峰（实线）和两个背底位置（虚线）进行分析。

AZtecWave软件还会计算其它合适的采集参数，例如，谱峰和背底的计数时间，并预测此分析所需的总时长。因此在采集WDS数据前，操作人员也可以重新设置各个参数。如果总时间大大超过预期，可以通过增加束流或降低定量结果精度的方式提高分析效率，并且可以通过再次采集EDS谱图一键获得新参数的采集时间。

AZtecWave通过SEM-EDS-WDS联用，根据当前电镜-EDS的信息，自动优化波谱元素采集参数的工作方式，也令Simon博士以及其他同事、客户耳目一新。而且该系统不依赖使用人员的经验，自动优化波谱采集参数，可靠性及客观性更强。

以往我们不论样品类型、化学组成、含量高低，都会生硬的设置采集谱峰时间为t，背底时间为0.5t，但其实这种“经验法则”在分析主元素时背底时间太长，而在分析痕量元素时可能又太短了。现在AZtecWave可以通过当前SEM-EDS的束流条件及元素信息，自动设置采集元素的线系、谱峰及背底的采集时间、允许的误差范围等。

拥有27年的丰富经验的Simon博士在AZtecWave面前也自叹弗如，不得不承认在确定合适的WDS采集条件时，无法与AZtecWave依据模拟谱图自动给出的参数相匹敌。同时Simon博士确信这是EDS-WDS联用的首次成功，也是WDS技术在长期发展过程中取得的重大进步。

如您希望了解AZtecWave更多信息，请查看官网。

AZtecWave大大提高了波谱分析的效率，改善了用户体验。大家可能还有疑问，AZtecWave定量准确性如何？是否可以匹敌EPMA定量分析的准确性？敬请期待下期篇章。