应用分享| AutoPhaseMap⸺混合相样品定量分析的能谱解决方案

​​X 射线定量分析技术，包括能谱仪（EDS）和波谱仪（WDS），是微区分析中可靠性、准确性高的无损定量方法。牛津仪器的能谱仪（EDS）提供多种定量方法：无标样归一法、无标样非归一法和有标样定量法。根据样品或检测需要，用户采用合适的定量方法和参数设置，可以实现高精度的定量分析要求。然而，很多测试不是简单地对某个点进行定量分析，常规的单点分析无法满足测试需求。这是因为在显微尺度下，很多材料的成分分布并不均匀，甚至是多种相混合在一起，比如复合材料、地矿样品和耐火材料。对这种材料的微区进行成分分析时，常见的做法是在低倍下选取代表性的区域进行定量计算。可是，由于这些材料中存在数种成分迥异的相，这种分析方法可能会造成比较大的定量偏差。下文以具体的案例解释其中的原因及应对的方法AutoPhaseMap。

复合材料

以金属基复合材料 Al/B4C 为例，图 1 为该复合材料的 SEM 电子图像，基体为铝合金，在电子图像中的衬度较亮。B4C 相较暗，弥散分布在铝合金基体中。