AZtec LayerProbe

Layerprobe 是SEM中用于薄膜分析的一个令人兴奋的软件工具。与专用的薄膜测量工具相比，AZtec EDS微观分析系统中的选配功能Layerprobe，速度更快、性价比更高、分辨率更高。

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SEM中的薄膜分析
表征样品表面下的多层膜
无损分析
从2nm到2000nm的多层膜厚度和成分分析
横向分辨率低至200nm
使用只需简单设置，高性价比的SEM或FIB-SEM扩展功能
AZtecEnergy的扩展功能：无缝集成，容易在现有系统上加装ble to existing installations

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概述

Layerprobe分析样品表面和次表面层的成分和厚度。它是基于现有显微分析技术的一种无损分析的工具。与专用的薄膜测量工具相比，AZtec EDS微观分析系统中的Layerprobe速度更快、性价比更高、分辨率更高。

LayerProbe计算表面下各层的成分和厚度，完善了常规EDS分析中获得的元素和相信息。

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LayerProbe

This 8 page brochure shows the features, benefits and operating principles of LayerProbe - and the many applications it is applied to.

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quality TEM lamella preparation and on-tip analysis using LayerProbe

Here we present a new technique that enables measurement of the local thickness and composition of TEM lamellae and discuss its application to the failure analysis of devices.

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Analysing Flexible Electronics

Research and development of electronic circuitry mounted on plastic substrates is gathering pace.

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Characterisation of all-oxide solar cells using AZtec LayerProbe

Photovoltaic (PV) cells are an attractive option for generating carbon renewable energy but traditional designs often include undesirable toxic compounds and must be manufactured under special conditions.

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LayerProbe是很多应用的理想技术，包括制备的前端和后端，研发，技术和工业镀膜，纳米电子器件等。

研发

测量金属层和介电层的厚度和化学成分
准确表征结合焊盘上形成的氧化层（例如，Cu上的Cu氧化层）
优化沉积工艺（CVD，ALD，溅射，蒸镀）

太阳能电池

表征太阳能电池（CIGS，CdTe）的活化层
优化TCO层的厚度和均一性
表征抗反射涂层厚度和成分

器件镀膜

利用准确的测定厚度和成分，优化的颜色和透明度
成分测量揭示非均一区域，传统的厚度测量无法观测到

工业镀膜

适合分析装饰和结构镀膜
用少量样品制备，揭示并准确表征表面层以下的缺陷

纳米科学

测量纳米颗粒镀层的均一性
表征纳米器件的接触性
利用非破坏性的检测，关联器件的性能和结构

LayerProbe提供了全新的方式来原位量化TEM薄片厚度和质量。它能辅助FIB-SEM截面分析样品层状样品。

LayerProbe只需要花几秒钟时间就能测量薄片的厚度，并可检测注入的Ga。
厚度测量的精度使得更快制备高质量，极薄的薄片。
准确确定表面层以下缺陷的位置，以便FIB-SEM切割。
在FIB中，利用气体辅助沉积或蚀刻，LayerProbe也能表征和优化沉积或处理的层的质量。

LayerProbe基于成熟的技术，与其他技术相比具有更为显著的优势。

LayerProbe和其他技术比较

	LayerProbe	Ellipsometry	FIB/TEM	RBS
Non-destructive	Yes	Yes	No	Yes
High spatial resolution	Yes	No (>>1 micron)	Yes	Yes
Rapid analysis	Yes (each point takes seconds)	Yes	No (several hours)	No
Cost	Relatively inexpensive	Expensive	Very expensive	Extremely expensive

LayerProbe 能有多精准?

比较硅衬底上的ALD层

	LayerProbe Thickness (nm)	Density (gcm^-3)	Ellipsometry Thickness (nm)	Refractive Index
HfO₂	28.1 ± 0.1	9.4	33.6 ± 5	2.04
Al₂O₃	57.0 ± 0.2	3.0	52.8 ± 5	1.64

LayerProbe EDS 和 RBSD 成分测量

	LayerProbe - Stoichiometric Ratio	RBS - Stoichiometric Ratio
Hf /O	2.13	2.07
Al /O	1.56	1.60

实例: PCB 应用——Si基体上的Ni和Au

LayerProbe和XRF厚度测量

	LayerProbe Thickness (nm)	Density (gcm^-3)	XRF Thickness (nm)
AU	60.1 ± 0.7	19.3	61 ± 25
Ni	123.5 ± 0.7	8.9	141 ± 24

SEM截面测量确认结果...